Comme nous le savons ZYGO continue à maintenir le leadership rôle en surface forme métrologie en utilisant l'interférométrie laser. Il principale mesure rayon de courbure, surface fringe et transmission wavefront distorsion. Pendant ce temps, il peut améliorer la précision et la répétabilité de la processus d'inspection. Principalement pour la surface plane, sphère, cylindre et ainsi de suite.
Assurer la haute précision de surface, arrivé λ/20
Principale mesure la longueur focale et centration. Mesure automatique, haute efficacité de mesure; Haute précision, la fonction puissante, large gamme de mesure.
Longueur focale Effective mesure
Center centration mesure: Prisme angle maître, tout deux angle
Tolérance <1 ~ 2»
Plage de mesure (mm) | ± 5 ~ ± 450 | -450 ~ + 450 |
Précision de la mesure | 0.03% ~ 0.3% | 0.2μm |
Être en mesure de mesurer les dimensions, angles et positions de divers pièces efficacement. Les paramètres géométriques de cutter, outil de mesure et outil de mesure.
Prisme angle maître, tout deux angle tolérance <1 ~ 2»
Voyage (mm) X x Y x Z | 250x150x200 |
Mesure résolution | 0.5μm |
Précision de la mesure | X, Y précision: (3 L/200) μm |
Répétabilité | 2μm |
Optique grossissement | 0.7X-4.5X |
Image grossissement | 28X-180X |
1. Le classique Czerny-Turner optique structure, simple, haute précision et bonne résolution spectrale
2. La conception de double réseau et double récepteur assure que l'instrument bande de travail peut couvrir la gamme complète de ultraviolet visible et proche infrarouge région (uv-vis-nir).
Longueur d'onde de mesure gamme | 190-2800nm |
Scan méthode | Transmittance, absorbance, réflectivité, d'énergie |
Longueur d'ondePrécision | ± 0.5nm(UV/VIS);± 8nm(NIR) |
Planéité de base | ± 0.008A(200-2500nm) |
Largeur de bande spectrale | 0.2nm-10nm |
TENSEUR 27 est une nouvelle génération de recherche-grade infrarouge spectromètre conçu par BRUKER. En temps réel système de surveillance et de diagnostic en ligne est une garantie fiable de performances supérieures.
Résolution | 0.5cm-1 |
Nombre d'onde précision | Mieux 0.01cm-1@ 2000cm-1 |
Précision Absorbance | Mieux 0.01% |
Gamme spectrale | 1.33-20um |